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以技术为核心
专注真空和尾气处理领域


公司简介

COMPANY INTRODUCTION

依托现有先进制造技术及研发成果,整合半导体尾气处理设备、半导体级真空泵系列-真空低温泵、真空分子泵、真空干泵等产品,投入更多的研发力量及硬件装备,以需求为导向,以整机和系统为牵引、设计为导向、制造为基础、装备和材料为支撑,以技术创新、模式创新和体制机制创新为动力,打破产业发展瓶颈,打造真正的半导体智能制造国产装备。


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历经十载行业积淀,公司形成完整的Scrubber IP/真空泵整套解决方案:充足产能布局+自主掌握主要技术贯穿产业链上下游,构筑技术壁垒;主要零部件将成国产替代重要一环,成长空间广阔。





创始团队始终坚持走自主创新、稳步发展之路,研发团队攻克技术壁垒,在国产化研发进程中发展较快。成员年轻有活力,具有多年半导体行业专业经验,始终对设备技术开发保持着学习能力,保持行业竞争力。以专业技术领航国际航标,做半导体设备科创类企业。



公司位于上海康桥工业园区,公司占地面积约3800平米,配有无尘制造车间和研发中心,通过了质量管理体系认证、环境管理体系认证、职业健康安全管理体系认证,2020年被评为上海市高新技术企业,也是集成电路材料和零部件产业技术创新战略联盟的会员单位。



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